型 号： Stream 564
行 程： X轴 500 mm
Y轴 600 mm
Z轴 400 mm
结构型式：移动桥式
传动方式：高精密光杠+ 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
机 台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸(LWH)：1.2 m X 1.4m X 2.3 m
机台承重：500 kg ，整机重量：850Kg
空间测量精度：（3.5+L/300）μm
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