型号

M443

M544          M574         M776          M7106

测量范围

X轴

400mm

500mm         500mm        700mm         700mm

Y轴

400mm

400mm       700mm          700mm            1000mm

Z轴

300mm

400mm       400mm          600mm            600mm

测量精度*

E=(1.9+3L/1000)μm (当使用TP200时) E=(1.7+3L/1000)μm (当使用SP600/MPP-100时) R=1.9 μm (当使用TP200时) R=1.7 μm (当使用SP600/MPP-100时)

分辨率

0.0001mm(0.1μm)

导向方式

各坐标轴上的空气轴承

驱动速度

CNC模式

8-300mm,最大合成速度520mm/s

操纵杆模式

0-80mm/s(高速模式) 0-3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微进给模式)

最大测量速度

8mm/s

最大测量加速度

各轴加速度0.13G, 最大合成加速度0.23G

工件

最大高度

480mm/510mm/510mm/800mm/800mm

最大重量

180kg/180kg/180kg/500kg

1000kg

重量

360kg/495kg/615kg/1390kg

1630kg

气压

0.4Mpa

空气消耗量

60升/分(在正常条件下),气源:120升/分