主要技术性能指标 1量程：0-3200mm（超出此范围可特殊订货） 2准确度： （1） 长度测控：±15μm/m; ±10μm/m; ±5μm/m; ±3μm/m(20±0.5℃) （2） 角度测控：±2′; ±1′; ±30″; ±20;″±10″.(超出此范围特殊订货) 3测量分辨率： （1）长度测控：5μm；1μm；0.5μm；0.1μm. (超出此范围特殊订货)； （2）角度测控：（主要取决于用户选定的光栅工作半径和光栅密度）。
主要技术性能指标
1量程：0-3200mm（超出此范围可特殊订货）
2准确度：
（1） 长度测控：±15μm/m; ±10μm/m; ±5μm/m; ±3μm/m(20±0.5℃)
（2） 角度测控：±2′; ±1′; ±30″; ±20;″±10″.(超出此范围特殊订货)
3测量分辨率：
（1）长度测控：5μm；1μm；0.5μm；0.1μm. (超出此范围特殊订货)；
（2）角度测控：（主要取决于用户选定的光栅工作半径和光栅密度）。
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